Способ получения тонких пленок плазменным напылением и устройство для его осуществления

Номер патента: 1225273

Авторы: Калинкин, Гусев, Щеголев, Елисеев

Описание

1. Способ получения тонких пленок плазменным напылением, включающий зажигание дугового разряда в атмосфере инертного газа между анодом и термокатодом, формирование контрагированной плазменной струи, введение в нее наносимого материала и конденсацию его паров на подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет улучшения их электрофизических свойств и повышения производительности процесса, наносимый материал вводят в плазменную струю в виде порошка с размером частиц 30 - 45 мкм со скоростью 8 - 10 г/мин при скорости истечения плазменной струи 8 - 9 м/с, давлении инертного газа 5,3 - 8,0 Па и потенциале на аноде 300 - 400 В, затем плазменную струю подвергают повторному контрагированию, а конденсацию паров наносимого материала осуществляют при давлении 1,33 - 133 10-8 Па.
2. Устройство для получения тонких пленок плазменным напыливанием, содержащее испаритель, разрядную камеру, термокатод и анод с размещенными между ними соосно разрядной камере промежуточным электродом с конической полостью и диамагнитным расширителем плазмы, отличающееся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет улучшения их электрофизических свойств и повышения производительности процесса, угол между образующей конической полости и осью симметрии разрядной камеры составляет 47 - 50o, а испаритель выполнен из немагнитного материала, размещен в расширителе плазмы и снабжен каналом для ввода порошка наносимого материала, а также плазменным и паровым каналами, геометрические оси которых параллельны геометрической оси расширителя, причем геометрические размеры каналов и расстояние между ними удовлетворяют выражениям
2 l1,2/d1,2 2,7,
где d1,2 - диаметры парового и плазменного каналов соответственно;
l1,2 - длины парового и плазменного каналов соответственно, см;
ln - расстояние от точки пересечения геометрической оси каналов для ввода порошка с геометрической осью расширителя плазмы до парового канала, см.

Заявка

3702334/21, 15.02.1984

Елисеев А. В, Гусев А. В, Калинкин И. П, Щеголев И. Н

МПК / Метки

МПК: C23C 14/32

Метки: напылением, тонких, плазменным, пленок

Опубликовано: 10.07.2000

Код ссылки

<a href="http://patents.su/0-1225273-sposob-polucheniya-tonkikh-plenok-plazmennym-napyleniem-i-ustrojjstvo-dlya-ego-osushhestvleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения тонких пленок плазменным напылением и устройство для его осуществления</a>

Похожие патенты